Eine Klasse von Mikrosystemen, die die Funktionen der optische, mechanische und elektronische Komponenten in einem einzigen, sehr kleine Paket oder Assembly kombinieren. MOEMS Geräte variieren in der Größe von mehreren Mikrometern bis zu mehreren Millimetern. MOEMS kann als eine Erweiterung der Mikro-Elektromechanische Systeme (MEMS) Technologie durch die Bereitstellung von einige optische Funktionen betrachtet werden. Diese optische Funktionalität kann in Form von optische Oberflächen wie Spiegel oder Gitter, die Integration der geführte Welle Optik in das Gerät oder die Aufnahme der optischen Emitter oder Detektoren in das System verschoben werden. Der Begriff kann mit Mikro-Opto-mechanische Systeme (MOMS), mehr richtig bezeichnet die Microsystems, die keine elektronische Funktionen am Standort Mikrosystemtechnik beinhalten verwechselt werden. MOEMS ist eine rasch wachsenden Sektor der Forschung und kommerzielle Entwicklung mit großem Potential zum tägliches Leben auswirken. Die grundlegenden Konzept ist die Miniaturisierung von kombinierte optische, mechanische und elektronische Funktionen in eine integrierte Montage oder monolithisch integrierten Substrat, durch den Einsatz von Micromachining Prozesse abgeleitet von der Mikroelektronikindustrie verwendet. Diese Prozesse, Mikrolithografie und verschiedenen etch (Subtraktiv) oder Ablagerung (Zusatzstoff) Schritte auf einem planaren Substrat, ermöglichen die Produktion von extrem präzise Formen, Strukturen und Muster aus verschiedenen Materialien.