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physikalische Gasphasenabscheidung
Eine Methode zur Hinterlegung dünne Halbleiter Photovoltaik) Filme. Mit dieser Methode physikalische Prozessen, wie z. B. thermische Verdampfung oder Bombardierung von Ionen, werden verwendet, um elementare Halbleiter-Material auf einem Substrat zu hinterlegen.
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创建者
- Wolfgang Meyer
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(Dusseldorf, Germany)