Μια διαδικασία χρησιμοποιείται για την εφαρμογή φωτοβολταϊκών ημιαγωγών υλικό με ένα υπόστρωμα από εναπόθεση ατμού με φυσική διαδικασία όπου ιόντων υψηλής ενέργειας που χρησιμοποιούνται να βομβαρδίζουν στοιχειακό πηγές του υλικού ημιαγωγών, που εκτινάσσει ατμοί των ατόμων που κατατίθενται στη συνέχεια σε λεπτές στρώσεις σε ένα υπόστρωμα.