Analüütiline meetod, mis kasutab kitsas elektronkiir tavaliselt läbimõõduga vähemalt 1 millimeeter keskendunud tahke proovi ergastamiseks röntgenkiirguse spektri, mis annab kvalitatiivset ja kvantitatiivset teavet iseloomulik valimisse kaasatud elementide. Lühendatud EPXMA.