La progressione continua della tecnologia di miniaturizzazione per dispositivi elettronici ci ha portato nel regime nano. Nella nostra vita quotidiana, stiamo usando nanodispositivi, che consistono di nanostrutture artificiale meno di 100 nanometri di dimensione. Per fabbricare queste nanodispositivi accuratamente, dobbiamo misurare su scala nanometrica vari valori, quali la lunghezza e la resistività. Nonostante l'importanza della tecnologia di misura su scala nanometrica, o nanometrologia, ci siamo limitati solo soluzioni. Metodi metrologici nuovo ora sono urgentemente necessarie per l'ulteriore sviluppo e miglioramento dei nanodispositivi. Recentemente, nuovi strumenti per la nanometrologia sono stati sviluppati.