粗引き真空ポンプ システムの圧力ポイントには、バルブ、拡散ポンプとシステム間の蒸気をノズルからの流れを停止することがなく開くことができますが、拡散ポンプ効率的な動作条件を保持するために使用 (前面) のバックアップ ポンプ。