太陽光発電の半導体材料の基板に適用するために使用するプロセスによる高エネルギー イオン、薄い層を基板上に堆積して原子の蒸気を取り出し元素半導体材料ソースを砲撃するために使用される物理的気相蒸着プロセス。
(Tokyo, Japan)